Pembersihan permukaan plasma adalah proses di mana kotoran dan kontaminan dari permukaan sampel dihilangkan dengan pembuatan plasma energi tinggi dari partikel gas, ini dirancang untuk berbagai aplikasi seperti pembersihan permukaan, sterilisasi permukaan, aktivasi permukaan, perubahan energi permukaan, persiapan permukaan untuk ikatan dan adhesi, modifikasi kimia permukaan.